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液壓伺服閥包括:滑閥式伺服閥、噴嘴擋板式伺服閥、射流管式伺服閥。
滑閥式伺服閥:采用動(dòng)圈式力馬達(dá),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,功率放大系數(shù)較大,滯環(huán)小和工作行程大;固定節(jié)流口尺寸大,不易被污物堵塞;主滑閥兩端控制油壓作用面積大,從而加大了驅(qū)動(dòng)力,使滑閥不易卡死,工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥:該伺服閥,由于力反饋的存在,使得力矩馬達(dá)在其零點(diǎn)附近工作,即銜鐵偏轉(zhuǎn)角θ很小,故線性度好。此外,改變反饋彈簧桿11的剛度,就能在相同輸入電流時(shí)改變滑閥的位移。該伺服閥結(jié)構(gòu)緊湊,外形尺寸小,響應(yīng)快。但噴嘴擋板的工作間隙較小,對(duì)油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥:對(duì)油液的清潔度要求較低。缺點(diǎn)是零位泄漏量大;受油液粘度變化影響顯著,低溫特性差;力矩馬達(dá)帶動(dòng)射流管,負(fù)載慣量大,響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥。
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